晶圆厂专业自动化缺陷检测的原子力显微镜
用于高吞吐量CMP轮廓测量的高精准低噪声原子力轮廓仪
Park NX-Wafer是业界前沿的半导体及相关制造业自动化AFM计量系统。该系统能提供晶圆制造厂检查和分析、裸晶圆和衬底的自动缺陷检测以及CMP轮廓测量。Park NX-Wafer具有较高的纳米级表面分辨率和亚埃级的高精度。在持续扫描后，探针针尖的变化可以忽略不计，仍具有出众的针尖锐度保护力。
Park NX-Wafer以其专有的自动系统功能而崭露头角，成为目前业界引领的半导体AFM工具。该自动系统包括自动探针更换、实时监控、无参考标记的目标定位和自动分析。
- 低噪声原子力轮廓仪，用于更精准的CMP轮廓测量
- 亚埃级表面粗糙度测量具有高精度和出众的探针使用寿命
- 用于缺陷成像和分析的全自动AFM解决方案
- 全自动系统，包括自动探针更换、机器人晶片搬运
- 能够扫描300 mm晶圆
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