椭偏仪

成像光谱椭偏仪

Park的成像光谱椭偏仪将椭偏仪和光学显微镜的优点结合在一个设备中。这两种技术的结合创造了一种独特的计量工具，重新定义了椭偏测量和偏振对比显微镜的界限。成像椭偏仪的增强空间分辨率（约1微米）将椭偏仪扩展到微观分析、微电子学和生物分析的新领域。成像椭偏仪是一种全光学、非接触的计量技术，擅长微结构薄膜样品和基板的层厚和材料表征。该技术将显微镜成像与光谱椭偏仪的测量原理结合起来。它达到约1微米的空间分辨率，轻松超越其他光学计量工具（如普通椭偏仪或反射仪）的限制。测量基于样品与偏振光的相互作用。通过计算建模，测量的偏振特性转换为物理样品特性的地图，如层厚、折射率和吸收率、粗糙度或各向异性。