用于产线计量的原子力显微镜

平板显示器

随着对大平板显示器的原子力计量需求的增加，Park NX-Tip Scan Head克服了对300mm以上样品的纳米计量挑战。尖端扫描头和龙门式气浮轴承台使Park NX-TSH能够准确成像粗糙度测量、台阶高度测量和关键尺寸测量。原子力显微镜是最准确、非破坏性的方法，用于纳米级测量样品，使用Park NX-TSH，可以在OLED、LCD、光掩模等上获得可靠的高分辨率AFM图像。