用于高分辨率3D计量的自动化工业原子力显微镜

Park Systems推出Park 3DM系列，这是专为悬垂轮廓、高分辨率侧壁成像和关键角度测量而设计的全自动化AFM系统。该系统采用了创新的解耦合XY和倾斜Z扫描系统，克服了常规和扩展探针方法在侧壁分析中的挑战。通过使用我们的True Non-Contact Mode™，Park 3DM系列能够以非损性的方式测量软性光刻胶表面，搭配高长宽比探针。