Contact Sign In
FX40 with monitor

Park NX20

失效分析的理想选择

Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。高精密度可为用户带来高分辨率数据，让用户能够更加专注于工作。与此同时，非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。

Request for Quote
x

大样品的缺陷检测成像与分析

Park NX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。

  • 样品侧壁三维结构测量

    NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必需的。

    样品侧壁三维结构测量

  • 对样品和基片进行表面光洁度测量

    表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精准的失效分析和质量保证。

    对样品和基片进行表面光洁度测量

  • 高分辨率电子扫描模式

    QuickStep SCM: 快捷的扫描式电容显微镜 PinPoint AFM: 无摩擦导电原子力显微镜

    高分辨率电子扫描模式

  • 多种创新的前沿技术帮助顾客减少测试时间

    通过对比重复扫描情况下探针针尖的形状变化，您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。 借助真正非接触模式，探针针尖在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。

    多种创新的前沿技术帮助顾客减少测试时间

  • 没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌

    低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。

    没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌

2D 弯曲导向扫描仪，扫描范围为100µm x 100µm

XY扫描仪包括对称的二维弯曲结构和高力量压电堆叠，提供高度正交运动以及微小的平面外运动，同时具备高响应性，非常适合在纳米尺度下进行精准样品扫描。

2D 弯曲导向扫描仪，扫描范围为100µm x 100µm

高速Z扫描仪，扫描范围为15µm

标准的Z扫描仪由高力量压电堆叠驱动，并由弯曲结构引导，具有超过9 kHz（通常为10.5 kHz）的高谐振频率，以及超过48 mm/sec的Z伺服速度，能够提供精准的反馈。可选的长扫描范围Z扫描仪可以将Z扫描范围从15µm扩展至30µm。

高速Z扫描仪，扫描范围为15µm

低噪声XYZ位置传感器

行业前沿的低噪声Z探测器替代了施加的Z电压作为形貌信号。此外，低噪声的XY闭环扫描精细化了前后扫描间隙，其大小不超过扫描范围的0.15%。

低噪声XYZ位置传感器

电动XY样品台带可选编码器

所有电动台上都配备了编码器，提高了样品定位的重复性。编码的XY台以1 µm分辨率移动，具有2 µm的重复性，编码的Z台以0.1 μm分辨率移动，具有1 μm的重复性。

电动XY样品台带可选编码器

步进扫描自动化

使用电动样品台，Step-and-Scan 可以实现用户可编程的多区域成像。此自动化功能通过减少重复成像过程中用户的协助来提高生产力。

Step-and-Scan 过程包括:

  • 扫描图像
  • 提起悬臂
  • 移动电动样品台至用户定义的坐标
  • 近针
  • 重复扫描

易于接触的样品托架

个性化的头部设计允许从侧面开放式接触样品和探针。可放置在样品台上的样品尺寸取决于所选的 XY 样品台的行程范围，直径可达150 mm x 20 mm或直径200 mm x 20 mm。

易于接触的样品托架

自动接合通过 Slide-to-Connect SLD 头

原子力显微镜 (AFM) 扫描头沿燕尾轨道快速滑入到位，自动锁定并精准连接到控制电子设备。超发光二极管 (SLD) 提供反射表面的精准成像，并实现精准的皮牛顿力-距离测量，而不干扰可见光谱实验。

自动接合通过 Slide-to-Connect SLD 头

集成 LED 照明的直接同轴高功率光学系统

定制设计的物镜，具有51 mm 的工作距离和0.21 NA，提供1.0 µm的分辨率和清晰的同轴光学视图。自上而下的直接视图使目标区域的导航变得简易。EL20x 物镜具有20 mm 的工作距离、0.42 NA 和0.7 µm 的分辨率，以增强视野清晰度。更大的 CCD 传感器和软件控制的 LED 光确保了广泛的视野和充足的照明，以精准观察样品。

集成 LED 照明的直接同轴高功率光学系统

扩展插槽用于 SPM 模式和选项

通过简单地将选项模块插入扩展插槽，可以启用 SPM 模式。NX 系列 AFM 的模块化设计允许其产品线中的选项兼容。

扩展插槽用于 SPM 模式和选项

垂直对齐的电动 Z stage和聚焦台

Z stage和聚焦台在保持用户视野清晰的同时，使悬臂与样品表面接触。而且由于聚焦台是电动和软件控制的，它具备透明样品和液体池应用所需的精度。

垂直对齐的电动 Z stage和聚焦台

高速 24 位数字电子设备

NX 系列 AFM 采用统一的 NX 电子控制器，24 位高速数字单元提高了 Park 的真正非接触模式的准确性和速度。其低噪声和快速处理非常适合纳米级成像和精准的电学测量，同时嵌入的数字信号处理增强了有效研究的功能性和价值。

高速 24 位数字电子设备
  • XY 和 Z 探测器的 24 位信号分辨率
  • 嵌入式数字信号处理能力
  • 集成信号接入端口

Applications

Perfect for Diverse Applications