StepScan允许用户能够对器件进行编程从实现而快速便捷地多区域成像。NX-Hivac让您只需五步即可完成样本扫描：扫描、提升悬臂、移动电动平台至用户定义坐标区域、进针及重复扫描。如此可有效提高生产率，大大减少用户输入。

Park电动激光对准使用户无需输入即可无缝衔接自动化测量例程。凭借着我们专有的预准直悬臂架，在更换探针时激光已对准悬臂。只需要调整定位旋钮，便可在X和Y轴上任意定位激光光点，达到准确位置。

NX-Hivac具有Park原子力显微镜行业领跑的低噪声Z轴探测器功能，可准确测量样本形貌，同时低噪声XY轴闭环扫描将前后扫描间隙降低至扫描范围的0.15%。

利用两个独立的闭环XY和Z轴挠曲扫描仪，您可以确信扫描的高精准度。NX-Hivac提供低残余弯曲的平面和正交XY轴扫描，使得整个扫描范围内的离面运动距离低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色还有非线性为低于0.5%的15 μm扫描范围的高速Z轴扫描仪，无需进行软件后期处理即可获得精准的二维和三位测量。

NX-Hivac的一大特点是NX系列电子控制器可在节省时间同时实现高精度扫描。我们的控制器为全数字、24位高速器件，用户能够利用其执行一系列扫描，包括我们的真正非接触（True Non-Contact）模式。控制器具有低噪声设计和高速处理部件，是精密电压和电流测量及纳米级成像的理想之选。嵌入式电子产品同时具有数字信号处理特点，用户可轻松地分析测量值和成像。