Park NX-IR
用于化学分析和材料成像的纳米级红外光谱系统
Park NX-IR 有效融合了崭新的红外光谱技术、Molecular Vista 的光诱导力显微镜（PiFM)以及行业前沿的 Park AFM 技术。PiFM 红外光谱采用非接触式检测技术，在空间分辨率、测量可靠性和样品安全性方面皆优于现有的光谱技术，包括轻敲PTIR(光热诱导共振）。Park NX-IR 中的 PiFM不仅能够进行高分辨率红外光谱分析，还能进行高质量的红外吸收材料成像，以进行准确的化学成分测量。高分辨率红外光谱与传统的FTIR(傅里叶变换红外）光谱保持着密切的相关性。此外，Park NX-IR 还可以通过检测技术、直接驱动和边带双峰检测的变化提供不同深度的有价值的材料信息。
Park NX-IR R300
用于300mm半导体晶圆的
纳米级红外光谱显微镜系统
Park NX-IR R300 是一种纳米级红外光谱系统，适用于可达 300 mm的半导体晶圆。
它以全新的纳米级高分辨率为半导体研究、故障分析和缺陷表征提供了
化学特性信息以及机械和形貌数据。
PPark NX-IR R300 不仅将前沿的纳米级红外光谱技术与原子力显微镜相结合，
还将Molecular Vista 的光诱导力显微镜（PiFM)模块巧妙结合到行业引领的
Park NX20 300mm AFM平台上。
Park NX-IR R300 既是光谱学系统又是显微镜系统。
Park NX-IR R300 的光谱系统可提供10nm空间分辨率下的化学鉴定。
它采用非接触式技术，提供无损伤光谱扫描和行业超高空间分辨率。
Park NX-IR R300 的显微镜系统可提供亚埃级高精度的3D形貌和纳米级横向分辨率的材料成像。
Park PiFM 光谱的优势
与轻敲或其他技术不同，Park NX-IR 使用的非接触方式可以避免损坏样品的任何部分。同时，它还避免了扫描操作期间的针尖污染，能在整个扫描过程中保持高分辨率和准确性。此外，Park PiFM 通过其直接驱动和边带双峰检测为用户提供样品不同深度的光谱信息。
Park PiFM 光谱的高空间分辨率材料成像
Park NX-IR为常规红外光谱技术和纳米级红外技术提供了更高的空间分辨率。这是通过Park AFM 用于检测化学信息的非接触模式和边带技术实现的。
在化学映射中展示出色的空间分辨率
PS-b-PMMA 嵌段共聚物的材料成像, (a) 非接触式 AFM 高度图像，(b)PS在1493 cm-1,处的红外映射图像，
(c)1731 cm-1 处的 PMMA 和 (d) PS-PMMA 的叠加映射图像。