Park nano-IR 光谱分析系统
集成纳米红外光谱的原子力显微镜化学分析系统
Park Nano-IR通过光诱导力显微镜（PiFM）技术与Park原子力显微镜技术联用，提供纳米级分辨率的材料化学分析方案，支持先进材料与半导体领域的精准分析需求。
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Park nano-IR 光谱分析的技术优势
Park nano-IR在空间分辨率表现上显著优于传统红外光谱技术，可稳定保持纳米级检测精度。采用非接触式测量技术，有效降低样品损伤与探针污染风险，保证高可靠性测量。其分子分析能力覆盖纳米尺度，可提供约10 nm空间分辨率的红外吸收光谱与化学分析，支持单层分子检测。通过边带技术整合，系统可解析分子键合特征，结合直接驱动与边带双模检测方法获取多维度材料数据。
FX系列AFM集成自动探针安装与红外激光校准功能，显著简化测量配置流程，缩短实验准备时间，优化操作过程。
Park nano-IR同步获取高分辨率三维形貌、红外光谱及特定波数化学图谱，结合AFM纳米机械/电学/热学性能检测功能，实现材料多属性联合表征。该技术可应用于半导体领域缺陷定位与纳米级材料成分识别，支持器件失效分析与特性研究。
PiFM 技术创新应用
PiFM技术基于非接触式检测原理，在空间分辨率、数据稳定性及样品保护方面较传统轻敲模式光热诱导共振（tapping PTIR）技术具有应用优势。通过Park nano-IR，用户可获取纳米级高分辨率红外光谱与吸收图像，完成复杂材料的精细化学分析。系统输出的红外光谱数据与傅里叶变换红外光谱（FTIR）兼容性良好，结合直接驱动与边带双模检测技术，支持从不同材料深度提取分析信息。
核心特性 & 系统适配
Park nano-IR兼容FX200 IR、FX300 IR及FX300*系统，提供以下功能：
- 支持小尺寸至300 mm晶圆的多样化样品测量
- 基于PiFM技术实现高空间分辨率红外光谱分析
- 自动化IR激光校准功能简化测量设置流程
- 兼容纳米力学、电学及热学特性等多模式分析
*注：FX300系统可扩展nano-IR模块，并可集成长程轮廓测量、旋转样品台及FFU洁净控制等工业级功能。