Lyncée Reflection Series
时间分辨形貌先进解决方案
Lyncée Reflection 系列是基于数字全息显微术（Digital Holographic Microscopy, DHM）的光学干涉仪。系统可通过单次采集实时完成测量，无需机械扫描。
这种近瞬时测量特性使 DHM 不仅能够测量样品的 3D 形貌，还可监测样品对外部刺激的瞬态响应；在制造过程中表征样品并优化工艺；对大面积表面进行表征并筛查微小缺陷；并可在高温、低温、液体、真空或气体控制环境下进行原位测量。
DHM 可用于半导体、MEMS、医疗技术、钟表行业、工业计量、聚合物、微纳技术、微光学和光子学等领域的研发实验室和生产设施。
这种近瞬时测量特性使 DHM 不仅能够测量样品的 3D 形貌，还可监测样品对外部刺激的瞬态响应；在制造过程中表征样品并优化工艺；对大面积表面进行表征并筛查微小缺陷；并可在高温、低温、液体、真空或气体控制环境下进行原位测量。
DHM 可用于半导体、MEMS、医疗技术、钟表行业、工业计量、聚合物、微纳技术、微光学和光子学等领域的研发实验室和生产设施。
主要特点
高级性能
- 干涉级分辨率
- 高速采集与实时数据显示
- 数字再聚焦：在高速和复杂环境下实现高分辨率成像，适用于高速采集和复杂环境
满足各类实验需求
- 多波长：扩展垂直测量范围
- 载物台：最高 300 mm 行程和 6 轴控制
- 面向特定应用的多种选项
- 可升级配置
面向快速与时间分辨应用的工作流程
3D 数据采集通过单幅图像完成，并以相机帧率重复进行。视野中的所有像素同时采集，无需横向、垂直或相位机械扫描，因此能够对动态样品进行全视场快速采集。
采集时间实际上定义了时间分辨率，其数值等于相机快门开启时间；若使用脉冲光源，则等于激光脉冲持续时间。对于标准系统，采集时间通常为数百微秒；使用高速相机时为数十微秒；在 MEMS 分析中可低至 5 纳秒。
这种高速采集能力适用于样品形变t的动态测量和大面积样品表征，并有助于提高重复性和对环境扰动的稳定性，尤其适合工业应用。
采集时间实际上定义了时间分辨率，其数值等于相机快门开启时间；若使用脉冲光源，则等于激光脉冲持续时间。对于标准系统，采集时间通常为数百微秒；使用高速相机时为数十微秒；在 MEMS 分析中可低至 5 纳秒。
这种高速采集能力适用于样品形变t的动态测量和大面积样品表征，并有助于提高重复性和对环境扰动的稳定性，尤其适合工业应用。
灵活升级与选项
Lyncée Reflection 系列采用模块化设计。DHM 探头中增加波长、增加物镜、电动载物台、环境腔体及样品控制选项等，都可根据应用和预算在任意阶段升级。
物镜套装
物镜转盘最多支持 6 个物镜，放大倍率从 1.25× 到 100×，可在宽视场概览和高倍率检查之间便捷切换。物镜选择包括超长工作距离、超高 NA、玻璃校正，以及油浸和水浸型号。
电动样品台
电动样品台可提升测量能力。可通过操纵杆手动控制，也可由 Koala 软件全自动控制，用于多位置测量的自动位移，或通过自动采集与拼接多幅图像来扩大测量视野。多种载物台可满足不同应用和样品需求，包括 X/Y 行程 100 mm 至 300 mm 的线性载物台，以及沿 Z 方向（光轴/焦点）38 mm 的行程。
6 轴控制
最高 6 轴控制方案可对球形和圆柱形样品进行精确测量，也适用于微镜等会以较大角度偏转光线的结构。
旋转载物台
为测量圆柱、轴、金属辊和玻璃管等圆柱形部件的整个表面，Lyncée Reflection 提供电动旋转载物台，可与电动或手动 XYZ 线性载物台兼容。两个驱动滚轮之间的距离可调，以适应不同直径样品。专用界面可控制样品沿对称轴方向移动并按顺序旋转。
频闪单元
频闪单元专为 MEMS 分析设计，可与 Koala MEMS Analyzer Suite 配合，同步 MEMS 激励驱动信号和全息图采集。该单元可在最高 25 MHz 频率、200 MHz 带宽条件下，沿 MEMS 激励周期进行精确形貌测量。
真空与热腔体
Lyncée Reflection 系列的光学配置支持透过光学窗口测量。系统会自动考虑窗口的光学厚度，无需在参考光束中手动添加经过精确校准的玻璃补偿片。
Lyncée Reflection 系列提供两种可选真空/热腔体模块，用于在不同气体、热和压力条件下测量样品。腔体配有接口，可用指定气体进行吹扫。
Lyncée Reflection 系列提供两种可选真空/热腔体模块，用于在不同气体、热和压力条件下测量样品。腔体配有接口，可用指定气体进行吹扫。
经典全息术原理
DHM 技术
DHM 是经典全息术的数字化扩展。该专利技术使用数码相机记录全息图，而不是使用感光板。数值处理取代传统的再照明过程，
可实时恢复成像样品引起的相位和强度变化。随后对这些信息进行解释，以获得样品表面形貌。
