Park NX20 300mm

用于300毫米晶圆测量和分析的自动化纳米计量工具

Park NX20 300mm是业界创新型大样品原子力显微镜，支持300mm×300mm全程机动化。新升级的Park NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计，可有效地检测整个300mm晶圆，且无需任何繁琐的样品位移。尽管扩大了支持300mm样品的机动XY工作台，但Park的创新性振动隔离技术仍然能够将系统噪声保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。 经检验的原子力显微镜性能和单击-原子力显微镜自动化取消了样本调整的需求，并使Park NX20的扫描过程尽可能高效和便于使用。通过我们的“批处理模式(Program Mode)”界面，用户可以在整个300mmx300mm区域轻松实现可靠与可重复的顺序多站点测量。NX20 300 mm从而成为需要扫描大样品的FA、QA和QC工程师的理想选择。