Park NX7
用于学术研究的便捷型纳米计量设备
Park Systems NX7 Atomic Force Microscope for nanoscale metrology
Park NX7是一款紧凑型原子力显微镜(AFM),专为便捷型纳米级研究而设计。其台式机型尤其适合教学环境和空间有限的实验室,同时仍能提供可靠的高分辨率成像。

NX7的核心技术是Park专有的正交扫描系统和True Non-contact™模式,这两项创新技术不仅能有效消除横向运动伪影,还能同时保护探针与样品。得益于这些技术的协同作用,即使是应对最精密或最具挑战性的样品,也能确保无伪影的高分辨率成像。

从材料科学到聚合物和生物工程,NX7能提供强大的性能及可靠的结果,因而成为先进纳米级计量领域值得信赖的平台。
主要特性
卓越的 NX 机械设计
NX7 的核心优势在于其优化的 XY 和 Z 扫描器性能。其中,高速 Z 轴伺服响应可实现快速的垂直方向调节,而改进的 Z 轴扫描直线度则确保了成像的准确性。此外,XY 扫描器可在扫描过程中实现精确定位。

另一大亮点是极低的 Z 轴检测器噪声。得益于堆叠式压电驱动器和应变计传感器,NX7 不仅具备高精度,还能实现极低的噪声水平,这对于获得可靠的测量结果至关重要。这些特性共同使 NX 系列成为适用于先进原子力显微镜(AFM)研究的稳定、精密的平台。
快速Z轴伺服和高分辨率
Park NX系列的图像分辨率得以进一步提高。NX Z扫描器采用叠加式压电执行器和应变计传感器,可对各种表面进行快速精确的测量。从极其平整的样品到粗糙的样品,无论扫描尺寸如何,它都能保持一致的粗糙度线性,确保在任何测量中都能获得可靠的结果。
Park Systems NX10 Atomic Force Microscope with fast Z servo and high-resolution scanning capability
Park Systems NX10 Atomic Force Microscope with fast Z servo and high-resolution scanning capability
NX激光束路径
NX测头集成了一个超发光二极管,可提供低相干性照明,从而最大程度减少干扰,实现稳定的信号检测。激光束通过高精度反射镜引导至悬臂和位置灵敏光电探测器(PSPD),从而实现精准的信号定位。

旋钮可直接沿X轴和Y轴移动激光光束,不仅使光束位置调整更为直观,更可在更换探针时轻松完成光束重新对准。
NX10 AFM laser beam path and optics alignment for precise tip positioning
NX10 AFM laser beam path and optics alignment for precise tip positioning
预装探针
即使对于经验丰富的用户来说,AFM探针的更换也颇具挑战性,这常常会导致悬臂断裂。Park AFM通过使用带有运动学安装定位点的预对准探针芯片载体来解决这一问题,从而确保可靠、一致的探针定位。

NX测头的Z扫描器采用三个精密球座实现运动学安装,辅以底部磁吸系统,以确保安装位置安全、可靠且具有重复精度。
NX10 AFM Probe Chip Carrier
NX10 AFM Probe Chip Carrier
NX10 AFM pre-mounted probe design enabling easy tip installation
NX10 AFM pre-mounted probe design enabling easy tip installation
Z轴扫描直线度提升
Park NX系列Z扫描器可在整个可用范围内将直线度保持在0.1%以内,即使在15 μm全量程扩展时,轴向偏移也始终控制在5 nm以内。

其紧凑的组件集预紧弹簧、运动学定位销和压电执行器于一体,可最大限度地减少漂移,确保精确的垂直运动,从而实现可靠、无畸变的纳米级测量。
Comparison of Z scan straightness between NX10 AFM and conventional systems
Comparison of Z scan straightness between NX10 AFM and conventional systems
NX10 AFM Z scanner image showing improved vertical linearity and low distortion
NX10 AFM Z scanner image showing improved vertical linearity and low distortion
同轴光学显微镜
高功率同轴光学显微镜可用于清晰观察样品表面。软件控制的LED光源可照亮样品表面,确保更佳的观测效果。
NX10 on-axis optical microscope for real-time sample observation
NX10 on-axis optical microscope for real-time sample observation
Park AFM 技术
正交扫描
采用管式扫描器的传统AFM会受到平面外运动和轴向串扰的影响,从而导致图像失真,尤其是在大面积扫描时。 与所有Park AFM一样,NX7采用了基于柔性铰链架构的先进正交扫描系统:2D柔性扫描器在XY平面上移动样品,同时由单独的1D柔性扫描器独立控制探针的Z轴运动。 该分离式扫描器系统配备用于XY反馈的低噪声光学传感器和用于Z控制的超低噪声应变传感器,可确保高度正交的线性扫描,同时将平面外运动降至最低并具备快速动态响应性能。
NX10 orthogonal scan system ensuring accurate XY motion and reduced crosstalk
NX10 orthogonal scan system ensuring accurate XY motion and reduced crosstalk
XY扫描器采用堆叠式压电执行器和柔性铰链结构,可实现无垂直干扰的平整、纯水平运动。位置传感器位于扫描器的中心,为伺服控制提供直接反馈,从而最大限度地减少扫描区域的定位误差。该设计确保即使在扫描大尺寸样品时,也能保持一致的精度和稳定性。
NX7 Inside View of XY Scanner
NX7 Inside View of XY Scanner
Park AFM 技术
真正非接触模式(True Non-contact™)
NX7采用的真正非接触模式(True Non-contact™),是Park Systems独家提供的专有技术。真正非接触模式通过探测AFM探针与样品表面间的范德华吸引力,来获取样品表面形貌。
NX10 True Non-Contact mode for high-resolution imaging of delicate samples
NX10 True Non-Contact mode for high-resolution imaging of delicate samples
软件
多领域应用示例
Park小样品原子力显微镜SmartSimulator
随时随地体验Park Systems的AFM技术,无需硬件。