FX40 with monitor

Park SmartLitho™

Park SmartScan™ 的友好型界面支持用户进行纳米光刻和纳米操作

SmartScan 可以自动进行成像所需的所有操作,并智能地确定优异的图像质量和扫描速度。 Park的专有技术实现了SmartScan的自动化测量。可以帮助用户在极短的时间内获得理想的实验结果。

超简易的纳米光刻和纳米操作的智能化软件

由SmartScan所支持的Park SmartLitho功能,基于原子力显微镜平台,可实现对材料,电气和电子设备,纳米技术和其他研究领域进行纳米光刻和纳米操作。 Park SmartLitho软件具有多种光刻模式,支持矢量模式和光栅模式,在SmartScan平台上运行,它的友好型操作界面为用户提供了独立便捷的图形编辑器。

SmartScan™可提供一个独立便捷的绘图编辑器

Christmas Ball Lithography on Si

Park SmartScan™所支持的SmartLitho模式

Taegeuk Mark Lithography on PZT